矩方程方法论文

微尺度通道内稀薄气体高阶努森数渗透率修正模型
论文摘要气体在微纳米尺度通道内流动时会产生稀薄效应,应用经典理论很难准确预测气体的真实流量,亟需建立精度更高、更具普适性的渗透率修正模型来描述稀薄气体的流动行为。为此,首先采用...