基热电薄膜论文

Ag掺杂ZnSb基热电薄膜的膜层结构和热电性能
论文摘要ZnSb基热电材料是中温区热电性能较好的一种材料,为进一步提升其性能,采用磁控溅射（射频+直流）的方法制备掺杂型ZnSb基热电薄膜;通过改变溅射功率控制Ag元素的掺杂量...