金字塔形貌论文

化学抛光对硅基异质结太阳电池性能的影响
论文摘要针对非晶硅薄膜沉积时金字塔沟壑处容易出现外延生长的问题,采用化学抛光液CP133对硅片表面进行了抛光处理。研究结果表明,抛光使得金字塔底部区域形貌由"V&qu...