金属有机化学气相沉积论文

InGaAs/Si的MOCVD生长特性及硅基激光器热应力研究
论文摘要基于云的应用和数据中心的快速增长,对高容量和紧凑型光链路的需求显著增加。通过将光电子器件和成熟的硅基微电子器件进行集成,即光电集成,有助于解决这些需求。然而,硅基光电集...