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多晶硅还原炉尾气管、视镜泄漏的原因分析及其处理方法
论文摘要多晶硅还原炉作为多晶硅生产装置的主要反应设备,其内硅芯在高压12KVA击穿下各类化学物质进行着复杂的CVD化学反应。设备的尾气管或其他接管焊缝出现缺陷,将造成夹套冷却水...