金属介质金属电容器论文

阳极氧化制备硅基氧化铝薄膜MIM电容器
论文摘要提出了一种在常温下通过简单的恒电流阳极氧化制备Al2O3薄膜构建金属-介质-金属（MIM）结构电容器的方法,通过控制阳极氧化时间制备出不同厚度Al2O3薄膜,避免了高成...