金属掺杂类金刚石论文

自组织分层金属掺杂类金刚石薄膜的研究进展
论文摘要近年来,研究学者发现在沉积过程中,某些金属元素掺杂类金刚石薄膜时能够形成一种特殊的自组织分层纳米结构,这种纳米结构克服了人为调控多层薄膜的工艺复杂性及局限性,同时赋予了...