金刚线切割废料论文

晶体硅金刚线切割废料氮化反应的研究
论文摘要为了综合利用晶体硅金刚线切割废料,以其为原料,使用卧式氮化炉进行氮化反应,研究了氮化温度（1300、1350、1400、1450和1500℃）、氮化保温时间（1、1.5...