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基于X射线光电子能谱定量分析金刚石自支撑膜高温石墨化
论文摘要目的针对金刚石红外窗口在高温环境下的石墨化失效问题进行研究。方法使用等离子体电弧发生器对CVD金刚石自支撑膜进行1500~1800℃热冲击实验,双面抛光后,采用光学显微...