金刚石膜论文

金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展
论文摘要金刚石膜以及类金刚石膜在光学元件的保护中有着重要的作用,金刚石膜以及类金刚石膜的特性决定了他们的使用方式,由于这两种膜的高硬度、低摩擦系数、高稳定性,所以在光学元件的保...
(100)/(111)面金刚石膜抗氧等离子刻蚀能力
论文摘要使用微波等离子体技术（microwaveplasmachemicalvapordeposition,MPCVD）对膜厚100μm的（100）和（111）晶面金刚石膜进行...