激光诱导剥离论文

27.12MHz激发的容性耦合Ar/O2等离子体诊断研究
论文摘要高频驱动的容性耦合等离子体放电在半导体工业中有广泛的应用。本文采用朗缪尔探针和激光诱导光致剥离技术重点对27.12MHz射频驱动的容性耦合Ar/O2等离子体的特性进行了...