激光选择性刻蚀论文

铝硅酸盐玻璃的激光微加工技术研究
论文摘要近年来,超快激光微加工快速的发展,可广泛应用于微电子、显微外科和工业加工等领域。超快激光可烧蚀和微加工几乎所有类型材料,只要使用一组最佳的加工参数,便可以在微米精度上控...