激光平滑技术论文

基于高能激光的光学元件抛光工艺的研究
论文摘要熔石英是光电子、微电子、光学以及光纤技术等行业的重要光学元件。在先进的功能性光电器件,如激光陀螺仪、软X射线仪、自由电子激光器以及激光聚变系统中,都对具有超光滑光学表面...