结构光投影论文

非平行光干涉照明显微镜三维形貌检测研究
论文摘要为实现表面微观形貌快速而较简单的检测,一种使用非平行光干涉照明的光学显微三维形貌检测方法被提出。该方法使用空间光调制器对激光光束进行衍射,选取光强相近的2个衍射级通过显...