基薄膜论文

镍与硅基n型锗薄膜欧姆接触的研究
论文摘要金属与Si基n-Ge形成的欧姆接触的比接触电阻高,是制约Si基n-Ge器件性能的关键因素之一,因此选用恰当的金属作为其欧姆接触的金属电极获得较低的比接触电阻极为重要。本...