角度静态测量论文

论文摘要激光自混合干涉测量技术具有结构简单、成本低、无损、非接触等优势,已广泛应用于速度、振动、位移等物理量的测量。近年来,伴随着精密制造技术飞速发展,高精度、低成本和小型化的...