交叠衍射论文

基于倾斜照明的反射式交叠衍射成像技术研究
论文摘要无缺陷掩膜板的制作是极紫外光刻技术的重要环节,因此对掩膜板的缺陷检测十分关键。由于掩膜基底对极紫外光有强吸收特性,极紫外掩膜缺陷检测一般采用反射式系统。受限于极紫外苛刻...