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和利时MC在多线切割机上的应用
论文摘要本文主要讲述和利时MC运动控制器在多线切割机上的应用。多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄...