霍尔离子源论文

高电压阳极层霍尔离子源三维数值仿真与设计
论文摘要对于阳极层霍尔离子源装置本身,宽能、大束流、低气耗及低污染等指标是新一代装置的研发方向。基于拓宽装置放电电压范围的考虑,针对装置现有结构,进行了三维数值仿真建模。在现有...