化学气相沉积论文

论文摘要目的采用微喷砂的方法对TiN/MT-TiCN/Al2O3/TiOCN多层涂层进行后处理,研究其对涂层摩擦磨损性能的影响。方法采用化学气相沉积（CVD）的方法在硬质合金基...

论文摘要二硒化钼作为一种新兴的二维材料,其独特的能带结构和优异的机械性能引起了人们极大的关注,已有研究表明它在光电领域中存在着巨大的应用潜能。但目前由于制备方法的不成熟,它的实...

全文摘要本实用新型实施例公开了一种进气顶盘及金属有机物化学气相沉积反应器，该进气顶盘中的气体匀化装置包括：第一分布板、多个通气腔体以及第二分布板，有源气体在气体匀化装置中不发生...

全文摘要本实用新型涉及新材料技术领域，具体公开了一种用于生产碳化硅外延片的化学气相沉积装置，包括安装底座、真空泵和壳体，壳体内部上下两端分别设有一加热板，壳体内部下端的加热板上...

全文摘要本实用新型提出了一种钟罩式化学气相沉积设备，包括反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，钟罩壳内设有钟罩保温层，钟罩保温层内设有钟罩箱，钟罩保温层内壁与...

全文摘要本实用新型涉及一种加热丝中介间隔件和用于化学气相沉积的加热子系统。所述加热丝中介间隔件或具有加热丝中介间隔件的加热子系统防止加热线圈的各部分之间出现非所要的电耦合。主设...

全文摘要本实用新型涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域，具体涉及一种热丝CVD化学气相沉积纳米金刚石涂层装置，包括有基座、设置在基座上的模具固定架以及设置在基座上方的热丝，热丝分为...