化学机械研磨废水论文

集成电路制造厂化学机械研磨废水回用技术
论文摘要采用混凝+板式膜+反渗透工艺对某集成电路制造厂的化学机械研磨废水进行处理。试验和实际应用结果表明:采用聚合氯化铝（PolyAluminiumChloride,PAC）作...