环保型工艺论文

超纯石英玻璃用二氧化硅的环保型制备工艺研究
论文摘要低缺陷的超纯石英玻璃在航空航天、激光武器装备和半导体光电材料领域具有广泛的应用。然而,受到我国合成石英原料的结构缺陷和杂质缺陷制约,我国在超高纯低缺陷的石英玻璃材料制备...