厚薄膜论文

厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征
论文摘要目的设计多层掺Si交替沉积的厚DLC薄膜,改善SUS304不锈钢的耐磨性与耐蚀性,拓展其使用范围。方法使用等离子增强化学气相沉积（PECVD）技术,在C2H2-SiH4...