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激光散斑法测量横向微位移及其应用
论文摘要针对传统激光散斑法测量横向微位移中存在的条纹对比度低、噪声大的不足,提出了改进的方法.该方法将二次曝光的散斑强度分布图利用快速傅里叶变换算法做2次快速傅里叶变换,在最终...