黑色颗粒论文

电子束蒸镀金膜表面黑色颗粒形成的机理研究
论文摘要采用电子束蒸镀金膜时,会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,这些黑色的颗粒形状大多不规则,尺寸集中在100nm～-1μm之间,传统的蒸镀理论较难解释这些黑色颗粒的成因。本...