含氨废气论文

LED产业含氨含氢废气处理技术发展现状
论文摘要LED外延片生产过程中金属有机物化学气相沉积（MOCVD）工艺会产生大量废气,其主要成分为NH3,H2,N2和少量金属有机化合物（MO源）,必须进行无害化处理,工业上常...