硅芯氧化论文

多晶硅生产质量控制探讨
论文摘要在多晶硅还原生产过程中,影响产品质量的因素主要有:硅芯氧化、爆米花、停炉倒棒。围绕还原生产过程中各个控制环节,提出如何提高多晶硅产品质量的措施。论文目录1三氯氢硅氢还原...