硅芯论文

多晶硅生产中硅芯氧化问题探究
论文摘要改良西门子法生产多晶硅中硅芯是多晶硅生长的载体,硅芯氧化会降低多晶硅产品品质,硅芯氧化的产品对下游铸锭、直拉均有不同程度的影响。目前硅芯氧化是影响多晶硅产品质量的一大问...
浅析改良西门子法多晶硅用铸锭硅芯
论文摘要目前市面上的多晶硅大多采用改良西门子法生产的棒状多晶硅为主,在改良西门子法生产多晶硅过程中,硅芯是作为多晶硅生产过程中非常重要的辅材使用和消耗的。本文简要回顾了硅芯发展...