硅微陀螺论文

一种新型的低噪声硅微机械陀螺电容读出电路
论文摘要陀螺系统的微机械敏感结构部分的性能提升受到成本、工艺的限制,有较高难度,故提升接口电路的各项性能成为提升整个系统性能的关键。因此,电容读出电路作为微机械陀螺系统中非常重...