硅微电容声压传感器论文

硅微电容式声压传感器γ射线电离辐射效应研究
论文摘要目的本文旨在对硅微电容式声压传感器进行电离辐射效应研究,获得传感器在γ射线照射下的辐射损伤效果。方法在分析γ射线与材料辐射作用机理上,设计辐射实验,研究硅微电容式声压传...