硅烷废气论文

多晶硅生产过程中硅烷废气的处理
论文摘要文章主要介绍了如何通过碱液淋洗工艺对于在硅烷流化床法生产多晶硅的过程中所产生的硅烷废气进行无害化处理以满足环保要求。论文目录1多晶硅生产中硅烷气的生产工艺2硅烷的废气处...