光刻机论文

中国建材总院积极拓展碳化硅结构陶瓷应用新领域
论文摘要碳化硅（SiC）是一种性能优异的结构陶瓷材料，具有高强度、高硬度、高弹性模量、高比刚度、高导热系数、低热膨胀系数和优良的化学稳定性，被广泛应用于石油化工、机械制造、核工...
光刻机视像自动对准系统的开发
论文摘要设计视像自动对准系统采用工业相机从MICRALIGNM系列投影式光刻机的双目显微镜提取含有掩模对准标记和晶圆对准标记图像,经过图像处理后获取对准标记的位置坐标以及掩模标...
一种小尺寸掩膜版居中性测量检查装置论文和设计-林伟
全文摘要本实用新型公开了小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，包括设于光刻机平台上的定位件和三组传感器，所述定位件上设有L型直角卡槽与掩膜版的直角边适配接触，其中一组传感器用于测量掩...