共溅射论文

HIPIMS技术制备CrN及CrAlN涂层的性能
论文摘要用高能脉冲靶和双极脉冲靶共溅射的方式,采用高功率脉冲磁控溅射技术（HIPIMS）在高速钢基片（W18Cr4V）上制备了CrN涂层和CrAlN涂层（（H+B）CrN、（H...