高阻靶材论文

稀土掺杂NiCrSi高阻靶材制备及镀膜性能研究
论文摘要采用真空热压烧结法制备稀土掺杂NiCrSi高阻合金靶材。利用X射线衍射仪、金相显微镜、扫描电镜、EDS能谱仪等表征手段测试分析靶材物相组成、显微组织及微区元素分布。同时...