高效光滑平坦化加工论文

圆柱型永磁体磁流变抛光头设计及其参数优化
论文摘要针对传统加工技术存在表面损伤、加工效率低的问题,将极具前景的面接触式超精密磁流变抛光技术应用到3C制造业中。对圆柱型永磁体磁流变抛光头在加工过程中的抛光垫的形貌进行了研...