锆钛酸铅论文

PZT铁电薄膜的离子束刻蚀表面形貌研究
论文摘要采用Sol-Gel（溶胶-凝胶）法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了约200nm厚的PZT（锆钛酸铅）铁电薄膜,然后用氩离子束对PZT薄膜进行刻蚀.研究了不同的离...
锆钛酸铅压电陶瓷的制备工艺研究
论文摘要锆钛酸铅(PZT)陶瓷是一类重要的铁电、压电、介电材料,具有较高的压电常数和机电耦合系数,是制备超声换能器、压电变压器、滤波器和压电蜂鸣器等器件的基础材料,在电子信息、...