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高气压直流辉光CH4/H2等离子体放电过程中的占空比效应
论文摘要对高气压下直流均匀辉光放电的脉冲占空比效应进行了研究。在1.7kHz脉冲放电条件下,当占空比高于73%时,脉冲间隔后电压需要经过10~20μs的上升时间至稳定;而电流增...