高精密定位基座论文

论文摘要通过对芯片探针测试机理的研究,基于微/纳米力学相关理论,建立了探针测试数学模型;在理论研究的基础上,设计了4000万像素光学芯片模组测试高精密定位基座。经测试光学芯片模...