高功率脉冲论文

高功率脉冲复合直流磁控溅射制备类金刚石薄膜的结构与性能
论文摘要采用高功率脉冲复合直流磁控溅射技术,以工作气压、基底偏压和靶电压为影响因素设计正交试验进行类金刚石（DLC）薄膜的制备研究,采用扫描电镜（SEM）、纳米硬度计、拉曼光谱...