高功率脉冲磁控溅射技术论文

HIPIMS技术制备CrN及CrAlN涂层的性能
论文摘要用高能脉冲靶和双极脉冲靶共溅射的方式,采用高功率脉冲磁控溅射技术（HIPIMS）在高速钢基片（W18Cr4V）上制备了CrN涂层和CrAlN涂层（（H+B）CrN、（H...
CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征
论文摘要采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶材,利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片（100）基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能。...