高纯多晶硅论文

浅谈洁净用品在高纯多晶硅后处理过程中的重要性
论文摘要高纯多晶硅作为电子材料的基石,其纯度及表金属杂质的控制是有严格要求的,当多晶硅通过一系列复杂的工艺从还原炉中生长出直至到下游厂家,其中的各个流程都有二次污染的风险,为了...