改进的化学气相沉积论文

热力学计算指导下改进CVD法制备大面积薄层MoS2
论文摘要为了探索改进化学气相沉积法（CVD）制备薄层MoS2的最佳制备温度,计算了不同温度下该反应体系吉布斯自由能的变化。在热力学计算的指导下,采用多温区管式炉制备MoS2纳米...