腐蚀坑形貌论文

β-Ga2O3单晶腐蚀坑形貌研究
论文摘要详细介绍了（100）、（010）和（■01）三种不同晶面的β-Ga2O3单晶腐蚀坑形貌状态及不同形貌的演变过程。所用β-Ga2O3单晶样品均为导模法（EFG）制备,且经...