分子泵论文

全文摘要本实用新型公开了一种动力锂电池生产二级高真空烘烤控制系统，包括二级真空泵装置、至少两个真空烤箱、超声波热风干燥装置和PLC控制器，真空烤箱的出气口处均设有真空阀门，超声...

全文摘要本实用新型公开了一种磁控溅射用节能装置，包括放卷辊和主动转轴，所述放卷辊设置在真空室内腔的顶部，放卷辊的下方设置收卷辊，所述主动转轴设置在真空室的左侧，真空室的右侧设置...

全文摘要本实用新型公开了一种连续进出料高真空有机小分子提纯专用设备，包括电机、磁流体密封轴、蜗杆、储料桶、加热炉胆、真空规、石英舟、观察窗、设备框架、收集罐、管道和五温区加热炉...

全文摘要本实用新型公开了属于黑硅加工设备技术领域的一种黑硅的自动生成装置，包括生产箱、放置架和分子泵，所述生产箱的内部固定有反应架，所述反应架的内部放置有注入鞘层，所述生产箱的...

全文摘要本实用新型公开了一种分子泵过滤装置，包括过滤装置本体，所述过滤装置本体上设有U型槽，所述U型槽的外环上固定连接有固定环，所述固定环用于与分子泵口法兰连接，所述U型槽的一...

全文摘要本实用新型的实施例公开了一种抗振分子泵用人字形动叶轮，其特征在于，包括芯轴、套设在所述芯轴上的电机转子和牵引筒，所述芯轴上设置有多个人字形叶片，所述牵引筒包括分别设置在...

全文摘要本实用新型公开了适于真空室的真空气路结构，包括分子泵和阀体组件，分子泵的出气口与前级泵的三通管第一管口相连通，阀体组件包括阀体，阀体上开设有主通道，阀体底部设置有低真空...

全文摘要本实用新型公开了一种涡轮分子泵转子，涉及气体流体领域。该涡轮分子泵转子包括多组堆叠设置的转子本体，每组转子本体包括同轴设置的两个转子环和一个翼板，且翼板设置于两个转子环...