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基于隧道场效应管传感的纳米梁非线性振动控制研究
论文摘要纳米梁作为纳机电系统(Nano-Electro-MechanicalSystems,NEMS)的重要构件,常被用来制作高精度的传感器。但是,随着尺寸的进一步减小,纳米梁...