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溅射沉积WSx/Ni/a-C/Ni多层膜的微结构及大气环境摩擦学性能
论文摘要采用磁控溅射技术在硅基体上交替沉积WS2、Ni及非晶碳(a-C)层制备出不同Ni层厚度的WSx/Ni/a-C/Ni多层膜.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、...