反应性磁控溅射论文

高功率脉冲磁控溅射制备非晶碳薄膜研究进展
论文摘要非晶碳薄膜主要由sp~3碳原子和sp~2碳原子相互混杂的三维网络构成,具有高硬度、低摩擦系数、耐磨损、耐腐蚀以及化学稳定性等优异性能。然而传统制备方法难以实现薄膜结构及...