反射功率论文

PECVD RF系统原理和故障改善
论文摘要本文介绍了PECVDG8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RFGenerator设置,RFmatch电容配比实...
电场辐射敏感度测试系统的维修方法
论文摘要结合电场辐射敏感度测试系统的基本工作原理和系统框图,提出了具体的方法来对测试系统进行维护和修理。为了在电场辐射敏感度测试系统出现故障时快速完成维修,把故障分为3大类加以...