反歧化论文

多晶硅副产物反歧化法合成三氯氢硅的研究进展
论文摘要随着环境污染和能源短缺问题的加剧,各国纷纷开始新型能源的开发,多晶硅的市场需求量也随之增加,而四氯化硅和二氯二氢硅等副产物的聚集制约着多晶硅行业的发展。四氯化硅反歧化工...