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高功率脉冲磁控溅射制备非晶碳薄膜研究进展
论文摘要非晶碳薄膜主要由sp~3碳原子和sp~2碳原子相互混杂的三维网络构成,具有高硬度、低摩擦系数、耐磨损、耐腐蚀以及化学稳定性等优异性能。然而传统制备方法难以实现薄膜结构及...
微能高低压复合放电沉积加工实验研究
论文摘要分析了高低压复合微能放电沉积的实现条件,提出了利用高压击穿放电间隙的方法,提高沉积加工过程的稳定性。对高电压条件下的放电特点进行了实验观察,通过改变放电能量获得了稳定的...